螺杆真空泵的安达功能特性

　　螺杆真空泵在真空泵行业中是较好的产品，在工厂上也是随处可见。螺杆真空泵的价格相对于其他的真空泵的价钱来说是较为便宜的，而且螺杆真空泵的工作效率高，且螺杆真空泵的功能较全。那么螺杆真空泵具体的功能特性有哪些呢？

　　真空泵广泛运用于真空冶炼、真空热处理、真空镀膜、电气产品、化工制药、真空模拟、电光源、硅晶体培植、除水除气、塑料制品、真空浸渍、真空（冷冻）干燥、制冷装置、食品加工及包装、汽车制造等行业。

　　干式螺旋真空泵浦乃是利用一对互相咬合的螺旋转子，在转子间维持微小的间隙，使得真空泵浦运转时腔体内无需润滑，因而无油气回漏污染的问题。透过转子线形良好的密封效果，压力可达7.5×10-3Torr.螺旋式真空泵浦由于排气路径短，粉尘移除能力较其他型式的真空泵浦强，加上转子表面披覆特殊材质的镀膜，因此可适用于PECVD、Etching等严苛制程。

　　干式螺旋真空泵浦，承袭上一代真空泵浦优良的转子设计，同时改善壳体的冷却方式，采用水套间接水冷的方式来降低壳体的温度，能够更精准地控制泵浦内部温度，减少沉积物的产生，增加真空泵浦的寿命。

　　PS系列真空泵浦亦采用水冷罐装密封马达，除了能维持更低的马达运转温度增加马达的寿命外，也可完全避免制程气体外漏的风险。

　　PS系列真空泵浦亦可配备微电脑控制器，可同时监控马达电流、马达温度、壳体温度、冷却水流量、氮气流量以及齿轮箱油位高低，提供真空泵浦完整的安全性保护，十分适用于光电、半导体、太阳能与TFT-LCD等产品稳定性要求高之产业。

小编：Qian